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Time: 2020-10-17  韋克威科技

GMR 巨磁阻電橋傳感器-韋克威-體積更小,精度更高

典型的GMR磁性傳感器(也稱為磁強(qiáng)計(jì))的顯微照片如下所示:

GMR磁性傳感器

自旋電子學(xué)傳感器電橋

     金屬合金薄膜是真空沉積在硅片上的。其他制造步驟包括熱退火、磁退火和光刻。GMR電阻通常用光刻技術(shù)制成蛇形電阻。蛇形結(jié)構(gòu)使單位面積的阻力最大化。當(dāng)傳感器采樣時(shí),電阻最大化可使功耗最小化。

atstone在GMR中配置了四個(gè)典型的電阻。電橋結(jié)構(gòu)提供了一個(gè)易于使用的電壓輸出,與施加的磁場(chǎng)成比例,但對(duì)GMR器件絕對(duì)電阻的任何變化不敏感。

     其中兩個(gè)電阻器是感應(yīng)電阻器;另外兩個(gè)是基準(zhǔn)電阻器。參考電阻由一個(gè)測(cè)量值為0.0004英寸的鎳鐵磁屏蔽覆蓋。厚。作為對(duì)外部磁場(chǎng)的響應(yīng),暴露在外的傳感電阻器的電阻減小,而參考電阻器保持不變,從而在電橋輸出端產(chǎn)生電壓。

    屏蔽也可以作為感測(cè)電阻的磁通集中器,提高器件的靈敏度并提高其空間專一性。由于自旋電子傳感器的小幾何結(jié)構(gòu),磁通集中特別有效,可以將靈敏度提高到100倍。

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