工業-微機械傳感器-供應商[韋克威]

   微型化是傳感器技術的主要發展方向之一，也是科學技術的發展以及社會的發展對傳感器的要求。微電子機械系統( Micro Electro - Mechanical System , MEMS )技術的發展是微機械傳感器產生的最直接的動力。許多專家都認為MEMS技術將掀起下一-次工業革命，微機械傳感器是目前最為成功、最具有實用性的MEMS裝置。

   與“普通的”或“常規的"傳感器相比，微機械傳感器不僅僅只是在尺寸上按比例縮小。微機械傳感器在材料、加工方式應用范圍等方面，與傳統的傳感器都有很大的不同。綜合各種文獻得出，微機械傳感器包括3個層面的含義。

   (1)微機械傳感器指的是單一的傳感器。 這類傳感器的一個顯著特點就是尺寸小。在加工中,主要采用精密加工、微電子技術以及MEMS技術，使得傳感器的尺寸大大減小。

   (2)微機械傳感器也指一個集成的傳感器。這類傳感器將微小的敏感元件、信號處理器、數據處理裝置封裝在一塊芯片上，形成集成的傳感器。

   (3)微機械傳感器還指傳感器系統。在這種系統中,不但包括傳感器，還包括微執行器,可以獨立工作。此外,還可以由多個微機械傳感器組成傳感器網絡或者通過其他網絡實現異地聯網。